利用脈沖高能束可以實現(xiàn)多種表面處理工藝，究其本質(zhì)，就是通過瞬時高能量密度作用在材料表層產(chǎn)生一種遠離平衡態(tài)的極端處理條件，使能量影響區(qū)內(nèi)的材料發(fā)生質(zhì)量分布、化學(xué)及力學(xué)狀態(tài)變化，最終獲得常規(guī)方法難以達到的表面結(jié)構(gòu)和使用性能。目前，脈沖高能束流主要包括激光束、離子束、電子束和等離子體束幾種。其中，使用電子束進行表面處理具有以下優(yōu)勢：以加速電子為能量載體，與材料表面相互作用時能量轉(zhuǎn)化效率比激光處理高出70%～80%，并且無元素注入問題，真空中進行處理可避免氧化和污染問題等。